Kompakte PVD-Exzellenz für Labor und F&E

MS 500 und MS 700 – Das ideale PVD-Beschichtungssystem für Labor, Forschung und Entwicklung.

Ihr Vorteil:

• Offenes System
• Intuitive und flexible PVD Pro Software
• Die Parameter sind computergesteuert, alle Einstellungen sind in einem Beschichtungsrezept gespeichert
• Beschichtungsparameter werden in Echtzeit gespeichert – vollständig wiederholbare Prozesse möglich
• Fernsteuerung und Überwachung
• Vollständig automatisiert auf Basis von Siemens Automatisierungslösungen (optional Schneider oder Allen Bradley)
• Bis zu 6 Magnetronquellen (EP Patent)
• Virtueller Shutter (optional)
• Hohe Flexibilität in Bezug auf die verwendeten Beschichtungselemente
• Hohe Flexibilität in Bezug auf die Möglichkeit zur Entwicklung neuer Beschichtungen
• Optische Emissionskontrolle für reaktive Prozesse
• Optionaler „Residual Gas Analyzer“ (RGA) welche in der Automatisierung integriert ist und zur Prozessteuerung genutzt werden kann
• Verschiedene Möglichkeiten der Plasmareinigung
• Plasma-Ätzen
• Integration einer linearen Ionenquelle für schonendere und und intensivere Plasmareinigung der Substrate und intensivere Plasmareinigung der Substrate

Die MS-Laborserie vereint viele Innovationen in einem extrem kompakten Gehäuse mit einfachem Zugang und einfacher Wartung. Bei der Entwicklung haben wir darauf geachtet, dass die MS-Laborserie mit einer Grundfläche von nur 1600 x 1600 mm extrem kompakt ist und alle für den Betrieb relevanten Komponenten in einem Gehäuse vereint:

1. Gruppe für die Vakuumbeschichtung
   Bis zu 6 Magnetrons mit einem speziellen Magnetfelddesign
   
2. Bereich Vakuumpumpen
   Wartungs- und ölfreie Trocken- und Turbopumpen
3. Prozessgas-Regelstrecke
   Bis zu 4 Arbeitsgase, einschließlich reaktiver Gase wie O₂, C₂H₂
4. Elektrischer Bereich
   Bis zu 6 DC-Stromversorgungen, 1 gepulste DC-Stromversorgung mit einstellbarer Pulslänge für Plasmareinigung, Bias und PECVD-Abscheidung

Mögliche Beschichtungen:

• Metalle
• Nitrid-Keramik
• Oxid-Keramik
• Karbonitride
• Reaktive Prozesse, die eine hohe Ionenenergie erfordern

Das System wurde nach dem Plug and Play Prinzip entworfen, und verspricht eine sehr hohe Benutzerfreundlichkeit hinsichtlich Bedienung und Service.

Die MS 700 ist kundenspezifisch erweiterbar und durch den modularen Aufbau auch für die Zukunft gerüstet.

Der Werkstückhalter ist flexibel gestaltet, zum anderen ermöglicht das Mehrkathodendesign, mit unseren patentierten (Magnetronen) Sputterquellen, individuelle und mehrschichtige PVD-Beschichtungen.

Das flexible Design der MS-Laborserie integriert lineare Ionenquellen.

Die flexible Programmierung der Software ermöglicht die reproduzierbare Herstellung von Mehrschichtstrukturen, gradierten Schichten und Nanostrukturen.

Ihre Vorteile:

• Innovativ Intuitiv
• Einfach zu bedienender „Start/Stop“
• Vollständige Maschinenübersicht und -kontrolle
• Integration des Kühlaggregats
• Kontinuierliche Live-Trends für alle Parameter
• Alle Parameter werden in einem historischen Archiv mit der Möglichkeit des Exports nach Microsoft Excel gespeichert
• Offene Schnittstelle zur Anpassung der Beschichtungsparameter
• Gesichert durch Bedienebenen (Bediener, Technik, Service)

Target Maße:

Metallische und keramische Targets, sogar spröde Materialien wie Cr, Si, Al₂O₃, können ohne Kleben gewechselt werden.