MS 700 von INORCOAT

PVD - Kompakt gemacht

 

MS 700 von INORCOAT

Der ökonomische Einstieg in die PVD Beschichtung!

 

MS 700 von INORCOAT

Hervorragend geeignet für die individuelle und flexible Beschichtung von Kleinserien.

 

MS 700 von INORCOAT

Zukunftsweisendes, kompaktes Design

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MS 700

Bereit für die Gegenwart – Fit für die Zukunft

Der ökonomische Einstieg in die PVD Beschichtung! Hervorragend geeignet für die individuelle und flexible Beschichtung von Kleinserien.

Ihr Vorteil:

  • Zukunftsweisend und kompakt
  • All in One Design
  • Vollständig automatisiert auf Basis von Siemens SCADA
  • Bis zu 6 Magnetronquellen
  • Patentierte Konstruktion und eigene Produktion
  • Hohe Vielseitigkeit
  • Hohe Flexibilität in Bezug auf die verwendeten Beschichtungselemente
  • „Ready for the future“ hinsichtlich der Möglichkeit für die Entwicklung neuer Beschichtungen
  • Verschiedene Möglichkeiten der Plasmareinigung
  • Plasma-Ätzen
  • Optionale Integration einer linearen Ionenquelle zur schonenderen und intensiveren Plasmareinigung der Substrate

Ihr Vorteil ist unsere Herausforderung:

Die MS700 verbindet viele Innovationen in einem äusserst kompakten Gehäuse. Bei der Entwicklung waren wir bedacht, der MS 700 eine extrem kompakte Stellfläche von nur 1600 x 1600 mm zu geben, die alle relevanten Komponenten zum Betrieb in einem Gehäuse vereint:

  1. Gruppe für die Vakuumbeschichtung
  2. Bereich Vakuumpumpen
  3. Prozessgas-Regelstrecke
  4. Elektrischer Bereich

Das System wurde nach dem Plug and Play Prinzip entworfen, und verspricht eine sehr hohe Benutzerfreundlichkeit hinsichtlich Bedienung und Service.

Die MS 700 ist kundenspezifisch erweiterbar und durch den modularen Aufbau auch für die Zukunft gerüstet.

Der Werkstückhalter ist flexibel gestaltet, zum anderen ermöglicht das Mehrkathodendesign mit unseren patentierten (Magnetronen) Sputterquellen individuelle und mehrschichtige PVD-Beschichtungen.

Optional ermöglicht das flexible Design der MS700 eine Integration von Linear-Ionenquellen.

HMI – Fokus auf den Betrieb, bereit für Innovationen.

Computing Control Interface „PVD Pro“

Die brandneue Software von INORCAOT arbeitet vollständig automatisiert.

Ihre Vorteile:

  • Innovativ Intuitiv
  • Einfach zu bedienender „Start/Stop“
  • Vollständige Maschinenübersicht und -kontrolle
  • Integration des Kühlaggregats
  • Kontinuierliche Live-Trends für alle Parameter
  • Alle Parameter werden in einem historischen Archiv mit der Möglichkeit des Exports nach Microsoft Excel gespeichert
  • Offene Schnittstelle zur Anpassung der Beschichtungsparameter
  • Gesichert durch Bedienebenen (Bediener, Technik, Service)

Innovativ Intuitiv

Spezifikationen:

Maße (BHT):
1600 x 2200 x 1600 mm
Eff. Beschichtungsvolumen: Ø 250 x H 250 mm - bis zu H 350mm
max. Kammergröße: Ø 750 x H 700 mm
Substrathalter: variabel

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