Prêt pour le présent – en forme pour l’avenir

L’entrée économique dans le revêtement PVD ! Convient parfaitement pour le revêtement individuel et flexible de petites séries.

Votre avantage :

• A l’avant-garde et compact
• Conception tout en un
• Entièrement automatisé sur la base de Siemens SCADA
• Jusqu’à 6 sources magnétron
• Construction brevetée et production propre
• Grande polyvalence
• Grande flexibilité en ce qui concerne les éléments de revêtement utilisés
• « Ready for the future » en ce qui concerne la possibilité de développer de nouveaux revêtements
• Différentes possibilités de nettoyage au plasma
• Décapage au plasma
• Intégration optionnelle d’une source d’ions linéaire pour un nettoyage plasma plus doux et plus intense des substrats

Le MS700 réunit de nombreuses innovations dans un boîtier extrêmement compact. Lors du développement, nous avons veillé à donner au MS 700 un encombrement extrêmement compact de seulement 1600 x 1600 mm, qui réunit tous les composants importants pour son fonctionnement dans un seul boîtier :

1. Groupe pour le dépôt sous vide
2. Zone des pompes à vide
3. Ligne de régulation des gaz de process
4. Zone électrique

Le système a été conçu selon le principe « plug and play » et promet une très grande convivialité en termes d’utilisation et de service.

Le MS 700 est extensible en fonction des besoins du client et, grâce à sa structure modulaire, il est également équipé pour l’avenir.

Le porte-pièce est conçu de manière flexible, d’autre part, la conception multicathode avec nos sources de pulvérisation (magnétron) brevetées permet des revêtements PVD individuels et multicouches.

En option, la conception flexible du MS700 permet d’intégrer des sources d’ions linéaires.

Le tout nouveau logiciel d’INORCAOT fonctionne de manière entièrement automatisée.

Vos avantages :

• Innovant Intuitif
• « Start/Stop » facile à utiliser
• Vue d’ensemble et contrôle complets de la machine
• Intégration de l’unité de refroidissement
• Tendances continues en direct pour tous les paramètres
• Tous les paramètres sont enregistrés dans des archives historiques avec possibilité d’exportation vers Microsoft Excel.
• Interface ouverte pour l’adaptation des paramètres de revêtement
• Sécurisé par des niveaux de commande (opérateur, technique, service)