L’excellence compacte du PVD pour le laboratoire et la R&D
MS 500 et MS 700 – Le système de revêtement PVD idéal pour le laboratoire, la recherche et le développement.
Votre avantage :
- Système ouvert
- Logiciel PVD Pro intuitif et flexible
- Les paramètres sont contrôlés par ordinateur, tous les réglages sont enregistrés dans une recette de revêtement.
- Les paramètres de revêtement sont enregistrés en temps réel – possibilité de reproduire entièrement les processus.
- Contrôle et surveillance à distance
- Entièrement automatisé sur la base de solutions d’automatisation Siemens (Schneider ou Allen Bradley en option)
- Jusqu’à 6 sources magnétron (brevet EP)
- Obturateur virtuel (en option)
- Grande flexibilité en ce qui concerne les éléments de revêtement utilisés
- Grande flexibilité en ce qui concerne la possibilité de développer de nouveaux revêtements
- Contrôle optique des émissions pour les processus réactifs
- Analyseur de gaz résiduel (RGA) en option, intégré dans l’automatisation et pouvant être utilisé pour le contrôle du processus.
- Différentes possibilités de nettoyage au plasma
- Décapage au plasma
- Intégration d’une source d’ions linéaire pour un nettoyage au plasma plus doux et plus intensif des substrats et un nettoyage au plasma plus intensif des substrats